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Distributions of substitutional and interstitial impurities in silicon ingot with different grain morphologies

锭杂质材料科学硅晶界间质缺损冶金结晶学微观结构兴奋剂化学合金光电子学有机化学

作者

Pengting Li,Shiqiang Ren,Dachuan Jiang,Kai Wang,Jiayan Li,Yi Tan

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2017-05-12 卷期号：67: 1-7 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2017.04.026

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