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Optimisation of Process Parameters of Chemical Mechanical Polishing of Soda Lime Glass

抛光 苏打石灰玻璃 材料科学 田口方法 表面粗糙度 泥浆 化学机械平面化 复合材料 表面光洁度 玻璃回收 苏打石灰 石灰 冶金
作者
C. Ramesh Kumar,M. Omkumar
出处
期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2018-06-08 卷期号：11 (1): 407-414 被引量：13
标识
DOI：10.1007/s12633-018-9903-3
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