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Evolution of the microstructure of Au(Zn) metallization during formation of an ohmic contact to p-type GaAs

欧姆接触接触电阻透射电子显微镜退火（玻璃）氧化物微观结构材料科学薄膜分析化学（期刊）电子衍射二次离子质谱法金属化化学衍射结晶学冶金纳米技术离子金属光学有机化学色谱法物理图层（电子）

作者

E. Kamińska,A. Piotrowska,E. Mizera,E. Dynowska

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1994-06-01 卷期号：246 (1-2): 143-150 被引量：10

标识

DOI：10.1016/0040-6090(94)90743-9

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