SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Design, fabrication and characterization of plasmonic gratings for SERS
纳米光刻
制作
等离子体子
电子束光刻
材料科学
栅栏
平版印刷术
表征（材料科学）
纳米技术
拉曼光谱
光电子学
光学
抵抗
物理
替代医学
病理
医学
图层（电子）
作者
Filippo Romanato,
Roberto Pilot,
Michele Massari,
Tommaso Ongarello,
Giuseppe Pirruccio,
Pierfrancesco Zilio,
Gianluca Ruffato,
Marta Carli,
D. Sammito,
V. Giorgis,
Denis Garoli,
Raffaella Signorini,
P. Schiavuta,
Renato Bozio
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2011-02-10
卷期号：88 (8): 2717-2720
被引量：16
标识
DOI：10.1016/j.mee.2011.02.052
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Echo
发布了新的
文献求助
10
刚刚
不懂科研
发布了新的
文献求助
10
1秒前
于某人
发布了新的
文献求助
10
2秒前
科目三
上传了
应助文件
2秒前
万能图书馆
的
应助
被
幸运星
采纳，获得
10
2秒前
Lucas
的
应助
被
求求自己科研开窍
采纳，获得
10
3秒前
开放的元菱
发布了新的
文献求助
20
5秒前
若一
上传了
应助文件
6秒前
bxsg
完成签到，获得积分
10
7秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
望十五月
采纳，获得
10
7秒前
lllllll
发布了新的
文献求助
10
8秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
9秒前
CodeCraft
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
东方元语
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
20
10秒前
慕青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
10秒前
Lucas
上传了
应助文件
10秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
10秒前
奔跑
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
10秒前
顾矜
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
30
10秒前
打打
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
10秒前
我是老大
的
应助
被
独特的鹅
采纳，获得
10
10秒前
科研通管家
关闭了
月见清和
的
文献求助
11秒前
科研通管家
关闭了
聪明的雅彤
的
文献求助
11秒前
勤劳的白晴
完成签到，获得积分
10
11秒前
若一
的
应助
被
hdc12138
采纳，获得
10
11秒前
慕青
上传了
应助文件
13秒前
Gaojie Yan
的
应助
被
幸运星
采纳，获得
10
13秒前
一只不受管束的小狸Miao
发布了新的
文献求助
10
15秒前
求求自己科研开窍
发布了新的
文献求助
10
15秒前
巨纪
完成签到，获得积分
20
16秒前
无花果
的
应助
被
里旺
采纳，获得
10
17秒前
Gaojie Yan
的
应助
被
萱棚
采纳，获得
10
17秒前
Hello
的
应助
被
Echo
采纳，获得
10
19秒前
喽喽
发布了新的
文献求助
10
19秒前
一条鱼
完成签到
，获得积分
10
20秒前
Akim
上传了
应助文件
21秒前
张开心
的
应助
被
q123
采纳，获得
10
23秒前
丘比特
的
应助
被
As故
采纳，获得
10
24秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
幸运星
采纳，获得
10
24秒前
乐乐
的
应助
被
冷酷的绝悟
采纳，获得
10
25秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Reducing Compassion Fatigue, Secondary Traumatic Stress and Burnout
600
Comparative Elite Sport Development Systems, Structures and Public Policy
600
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
Auslegungsgeschichte
500
Cosmos as Art Object: Studies in Plato's Timaeus and Other Dialogues
500
What is the Future of Psychotherapy in Digital Age? Technology, AI Bots, and Psychotherapy after Covid
444
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7637984
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9211325
关于积分的说明
19758495
捐赠科研通
7204970
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3275767
关于科研通互助平台的介绍
2437385
邀请新用户注册赠送积分活动
2272936
今日热心研友
cocodu
348
3215
Nole
204
3680
cdercder
200
3185
东方元语
140
3420
Kao
188
1390
xing_xing
122
1620
OK
2310
张欢馨
113
1090
aajhajkahna
124
985
张开心
135
670
若一
79
920
乐空思
29
1395
学术文献互助
1620
aaaa
57
950
Criminology34
60
720
XLL小绿绿
74
515
牧青
1200
那时花开
50
550
yjh123
1030
v0id
880
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cocodu
Nole
cdercder
东方元语
Kao
xing_xing
OK
张欢馨
aajhajkahna
张开心
若一
乐空思
学术文献互助
aaaa
Criminology34
XLL小绿绿
牧青
那时花开
yjh123
v0id
皖公网安备34019202002308
