SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
SiO2 electret thin films prepared by various deposition methods
薄膜
沉积（地质）
溅射沉积
电子回旋共振
材料科学
分析化学（期刊）
物理气相沉积
化学工程
化学气相沉积
驻极体
氧化剂
碳膜
蒸发
退火（玻璃）
化学
溅射
光电子学
纳米技术
复合材料
离子
有机化学
热力学
生物
物理
工程类
古生物学
沉积物
作者
Tadatsugu Minami,
Tetsuharu Utsubo,
Tsuyoshi Yamatani,
Toshihiro Miyata,
Yoshiaki Ohbayashi
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2003-02-01
卷期号：426 (1-2): 47-52
被引量：27
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(02)01302-0
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
SunGuangkai
发布了新的
文献求助
10
刚刚
马戈
发布了新的
文献求助
10
刚刚
科研圣体
发布了新的
文献求助
10
1秒前
小二郎
上传了
应助文件
2秒前
今后
上传了
应助文件
2秒前
脑洞疼
上传了
应助文件
3秒前
Jasper
的
应助
被
漂亮夜安
采纳，获得
10
3秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
yuyu
采纳，获得
10
4秒前
谢紫玲
发布了新的
文献求助
10
4秒前
落寞的芙
完成签到
，获得积分
10
5秒前
丘比特
的
应助
被
020306
采纳，获得
10
5秒前
欣欣
发布了新的
文献求助
10
5秒前
FashionBoy
上传了
应助文件
6秒前
shuang
发布了新的
文献求助
10
6秒前
cc
完成签到，获得积分
10
7秒前
瀚子
完成签到，获得积分
10
7秒前
咕咕咕
完成签到，获得积分
20
8秒前
所所
的
应助
被
菠萝吹雪
采纳，获得
10
8秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
细腻的静枫
采纳，获得
10
9秒前
sharrowxu
发布了新的
文献求助
10
9秒前
wzy
发布了新的
文献求助
10
10秒前
爆米花
上传了
应助文件
12秒前
甜美的含卉
完成签到，获得积分
10
12秒前
气泡水
发布了新的
文献求助
10
12秒前
谢紫玲
完成签到，获得积分
10
13秒前
吃饭
完成签到，获得积分
10
15秒前
海贼学术
完成签到
，获得积分
10
15秒前
FashionBoy
的
应助
被
菠萝吹雪
采纳，获得
10
15秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
Ariaa
采纳，获得
10
16秒前
甜美的含卉
发布了新的
文献求助
10
18秒前
Wind
的
应助
被
飘逸碧琴
采纳，获得
10
19秒前
深情安青
上传了
应助文件
20秒前
瘦瘦的愚志
发布了新的
文献求助
10
21秒前
ooo
发布了新的
文献求助
10
23秒前
田様
上传了
应助文件
24秒前
斯文败类
的
应助
被
李好
采纳，获得
10
24秒前
星辰大海
的
应助
被
科研圣体
采纳，获得
10
24秒前
胡明月
发布了新的
文献求助
10
26秒前
Akim
的
应助
被
123
采纳，获得
10
26秒前
风趣的绿茶
发布了新的
文献求助
10
30秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
An Introduction to Foreign Language Learning and Teaching
750
China Pluperfect I: Epistemology of Past and Outside in Chinese Art
520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
Governing Growth: Us Industrial Policy from Hamilton to Trump
500
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide
500
The Analytical and Numerical Solution of Electric and Magnetic Fields
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7625787
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9200759
关于积分的说明
19726942
捐赠科研通
7196759
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3273745
关于科研通互助平台的介绍
2435936
邀请新用户注册赠送积分活动
2269673
今日热心研友
Nole
732
7935
东方元语
337
6860
cdercder
416
3530
yjh123
104
5780
v0id
239
2070
OK
4230
xing_xing
131
2710
张欢馨
81
3080
dde
200
1410
Kao
150
1320
aajhajkahna
110
1343
pluto
66
1590
学术文献互助
2230
woshi123
59
1630
昏睡的蟠桃
1750
松2026
70
1010
ansteel
1580
行走的荷尔蒙
1435
DengLipan
142
科研狗
1380
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Nole
东方元语
cdercder
yjh123
v0id
OK
xing_xing
张欢馨
dde
Kao
aajhajkahna
pluto
学术文献互助
woshi123
昏睡的蟠桃
松2026
ansteel
行走的荷尔蒙
DengLipan
科研狗
皖公网安备34019202002308
