Detection and analysis of crystal defects in silicon by scanning infrared depolarization and photoluminescence heterodyne techniques

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作者
H.‐D. Geiler,H. Karge,Matthias Wagner,A. Ehlert,E. Daub,K. Messmann
出处
期刊:Materials Science And Engineering: B [Elsevier BV]
卷期号:91-92: 46-50 被引量:13
标识
DOI:10.1016/s0921-5107(01)00965-5
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