SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
Absolute etch rates in alkaline etching of silicon (111)
蚀刻（微加工）
腐蚀坑密度
成核
水溶液
硅
活化能
反应速率
反应速率常数
分析化学（期刊）
Crystal（编程语言）
空位缺陷
化学
动力学
薄脆饼
各向同性腐蚀
材料科学
结晶学
物理化学
催化作用
纳米技术
有机化学
物理
量子力学
程序设计语言
计算机科学
图层（电子）
作者
Ibrar Ali Shah,
W.J.P. van Enckevort,
E. Vlieg
出处
期刊：
Sensors and Actuators A-physical
[Elsevier BV]
日期：2010-09-30
卷期号：164 (1-2): 154-160
被引量：15
链接
sciencedirect.com
handle.net
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.sna.2010.09.014
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
11
完成签到，获得积分
10
5秒前
所所
上传了
应助文件
7秒前
SciGPT
的
应助
被
Erika
采纳，获得
10
10秒前
wtg
发布了新的
文献求助
10
12秒前
天天快乐
的
应助
被
wtg
采纳，获得
10
21秒前
结实的小蚂蚁
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
23秒前
赘婿
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
23秒前
locket
完成签到
，获得积分
10
31秒前
桐桐
的
应助
被
ayato
采纳，获得
10
57秒前
Daniel
发布了新的
文献求助
30
59秒前
SciGPT
上传了
应助文件
1分钟前
Erika
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
xfy
完成签到，获得积分
10
1分钟前
aeli
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
小马甲
的
应助
被
Erika
采纳，获得
10
1分钟前
JamesPei
的
应助
被
得咎
采纳，获得
10
2分钟前
科研通AI6.4
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2分钟前
天天快乐
上传了
应助文件
2分钟前
Evelyn
完成签到，获得积分
20
2分钟前
wtg
完成签到，获得积分
10
2分钟前
wtg
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
小马甲
上传了
应助文件
3分钟前
CipherSage
上传了
应助文件
3分钟前
桐桐
上传了
应助文件
3分钟前
Erika
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
大爱仙尊
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
ayato
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
ding
的
应助
被
Erika
采纳，获得
10
3分钟前
共享精神
的
应助
被
鲨鱼辣椒
采纳，获得
10
3分钟前
我是老大
上传了
应助文件
3分钟前
科研通AI6.2
的
应助
被
Scout
采纳，获得
10
3分钟前
Marciu33
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
结实的小蚂蚁
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4分钟前
今后
上传了
应助文件
4分钟前
空空伊
发布了新的
文献求助
10
4分钟前
stubborn_cat
完成签到
，获得积分
10
4分钟前
orixero
上传了
应助文件
4分钟前
ghx
关闭了
ghx
的
文献求助
4分钟前
大爱仙尊
发布了新的
文献求助
10
4分钟前
李健的小迷弟
的
应助
被
空空伊
采纳，获得
10
4分钟前
高分求助中
Principles of Economics, 11th Edition
10000
University Physics with Modern Physics, 16th edition
10000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
48V Low-voltage Power Distribution Network (PDN) Architecture Industry Report, 2024
800
ズームレンズの光学設計に関する研究
800
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition
700
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
610
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7297548
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8916006
关于积分的说明
18879079
捐赠科研通
6963151
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3210561
关于科研通互助平台的介绍
2379889
邀请新用户注册赠送积分活动
2187075
今日热心研友
Kao
86
470
GingerF
11
730
Nole
31
440
LB
26
210
Criminology34
9
350
OK
7
370
Samuel
11
160
MchemG
19
40
sci_fp
11
60
右子
10
30
kakao
7
50
dynamoo
4
50
youth
6
20
cnspower
70
369ninja
7
启蒙
1
50
无极微光
60
笨笨的元绿
2
40
冷静
1
50
Copyright
50
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
GingerF
Nole
LB
Criminology34
OK
Samuel
MchemG
sci_fp
右子
kakao
dynamoo
youth
cnspower
369ninja
启蒙
无极微光
笨笨的元绿
冷静
Copyright
皖公网安备34019202002308
