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Fast source mask optimization adopting mask prediction and feedback method with similarity penalty
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图像（数学）
作者
Weichen Huang,
Yanqiu Li,
Miao Yuan,
Zhaoxuan Li,
Yang He,
Zhen Li
出处
期刊：
Applied Optics
[Optica Publishing Group]
日期：2024-12-02
标识
DOI：10.1364/ao.542256
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