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Structure, mechanical and tribological properties of Ti-doped and Cr-doped a-C:H:SiOx coatings

材料科学 摩擦学 兴奋剂 涂层 溅射沉积 化学气相沉积 沉积（地质） 冶金 复合材料 溅射 薄膜 纳米技术 古生物学 光电子学 沉积物 生物
作者
A.S. Grenadyorov,А.А. Solovyev,В.О. Оскирко,К. В. Оскомов,V. A. Semenov,В. С. Сыпченко,Аndrey А. Saraev
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2023-10-20 卷期号：219: 112706-112706 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112706
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