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High-threshold-voltage and low-leakage-current of normally-off H-diamond FET with self-aligned Zr/ZrO2 gate

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作者
Wang Fei,Guoqi Chen,Wei Wang,M.H. Zhang,Shi He,Guoqing Shao,Y.F. Wang,Wenbo Hu,Hongxing Wang
出处
期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier]
日期：2023-02-10 卷期号：134: 109774-109774 被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.diamond.2023.109774
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