Fabrication and characterization of hybrid bulk and surface acoustic wave resonators with Ag/patterned-AlN/Mo/diamond/Si layered structure

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作者
Bowei Xie,Fazhu Ding,Hongjing Shang,Daxing Huang,Qiming Zou,Congmeng Li,Hongwei Gu
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:134: 109769-109769 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2023.109769
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