Influence of post-deposition annealing on the novel alloyed SnSxO1-x semiconductor in p-type thin-film transistors

材料科学 薄膜晶体管 退火(玻璃) 光电子学 薄膜 半导体 脉冲激光沉积 晶体管 纳米技术 冶金 图层(电子) 电压 电气工程 工程类
作者
Tao Zhang,Weihao Wang,Yunze Liu,Fengzhi Wang,Xinhua Pan,Bin Lu,Zhizhen Ye
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:151: 107037-107037 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2022.107037

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