Microwave hydrogen plasma etching on the laser-cut surface of single crystal diamond: Phases, etching morphology, stress evolution and the effect of etching on the subsequent homoepitaxial growth

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作者
Yongning Wei,Jie Gao,Ke Zheng,Yong Ma,Jiaqi Zhi,Wenru Jia,Xin Zheng,Shuaiwu Qu,Bing Zhou,Shengwang Yu
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:143: 110937-110937 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2024.110937
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