发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！

CD metrology for EUV resist using high-voltage CD-SEM: shrinkage, image sharpness, repeatability, and line edge roughness

计量学 极紫外光刻 抵抗 GSM演进的增强数据速率 重复性 材料科学 收缩率 表面光洁度 数码产品 光学 表面粗糙度 直线（几何图形） 纳米技术 光电子学 计算机科学 工程类 电气工程 物理 复合材料 电信 几何学 数学 图层（电子） 化学 色谱法
作者
Daisuke Bizen,Shunsuke Mizutani,Makoto Sakakibara,Makoto Suzuki,Yoshinori Momonoi
出处
期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems [SPIE]
日期：2019-09-18 卷期号：18 (03): 1-1 被引量：2
标识
DOI：10.1117/1.jmm.18.3.034004
摘要
The Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) publishes peer-reviewed papers on the core enabling technologies that address the patterning needs of the electronics industry.
相关文献
暂未提供新的相关文献。
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
senli2018发布了新的文献求助10
5秒前
Maestro_S的应助被senli2018采纳，获得10
31秒前
整齐的诗筠完成签到，获得积分10
34秒前
43秒前
笨笨的夏柳完成签到，获得积分10
46秒前
炙热的万怨完成签到，获得积分10
58秒前
嘻嘻哈哈的应助被NattyPoe采纳，获得10
58秒前
1分钟前
null的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
Hello的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
代涵的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
丘比特的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
369ninja的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
senli2018发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
megawatt发布了新的文献求助10
1分钟前
ZYP完成签到，获得积分10
1分钟前
牢邓完成签到 ，获得积分10
1分钟前
失眠的英姑完成签到，获得积分10
1分钟前
科研通AI6.4的应助被senli2018采纳，获得10
1分钟前
megawatt完成签到，获得积分10
1分钟前
Jenny完成签到 ，获得积分10
1分钟前
Jenny完成签到 ，获得积分10
1分钟前
眯眯眼的破茧完成签到，获得积分10
2分钟前
NattyPoe完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
平常以云完成签到 ，获得积分10
2分钟前
明理冰海完成签到，获得积分10
2分钟前
舒心谷菱完成签到，获得积分10
2分钟前
null的应助被科研通管家采纳，获得10
3分钟前
null的应助被科研通管家采纳，获得10
3分钟前
senli2018发布了新的文献求助10
3分钟前
简单完成签到 ，获得积分10
3分钟前
viclcn完成签到 ，获得积分10
3分钟前
kKIDinG完成签到 ，获得积分10
3分钟前
3分钟前
清爽的天川完成签到，获得积分10
3分钟前
3分钟前
senli2018发布了新的文献求助10
4分钟前
凶狠的草莓完成签到，获得积分10
4分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
拉伸高分子熔体中缠结行为的模拟和小角中子散射研究 1080
Encyclopedia of Modern Artificial Intelligence 1000
Особенности технологий и методов информационно-психологических войн СССР с Великобританией и США в период 1939-1953 гг 1000
Das Matthäusevangelium: Kapitel 1:1–17 1000
Analyses de reconnaissances de dettes passées devant les échevins d'Ypres (1249-1291) 600
Cellulose and Cellulose Derivatives: Synthesis, Modification and Applications 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 8142309
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9542092
关于积分的说明 21649026
捐赠科研通 7727120
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3421640
关于科研通互助平台的介绍 2546903
邀请新用户注册赠送积分活动 2464267
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通