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Characterization of Strain Due to Nitrogen Doping Concentration Variations in Heavy Doped 4H-SiC

材料科学兴奋剂各向异性薄脆饼晶格常数 Crystal（编程语言）单晶硅单色堆积分析化学（期刊）结晶学光学衍射硅化学纳米技术光电子学物理色谱法计算机科学有机化学程序设计语言

作者

Yu Yang,Jianqiu Guo,Balaji Raghothamachar,Xiaojun Chan,Taejin Kim,Michael Dudley

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2017-11-01 卷期号：47 (2): 938-943 被引量：11

标识

DOI：10.1007/s11664-017-5846-5

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