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Effect of chemical action on the chemical mechanical polishing of β-Ga2O3(100) substrate

化学机械平面化抛光泥浆 X射线光电子能谱扫描电子显微镜材料科学表面粗糙度 Crystal（编程语言）基质（水族馆）化学工程表面光洁度冶金复合材料工程类地质学海洋学程序设计语言计算机科学

作者

Chuanjin Huang,Hai Zhou,Yongwei Zhu,Changtai Xia

出处

期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2018-11-29 卷期号：56: 184-190 被引量：20

标识

DOI：10.1016/j.precisioneng.2018.11.013

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