Plasma-assisted chemical mechanical polishing of single-crystal diamond for atomically smooth surfaces

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作者
Yang Kw,Wei He,Jiaqi Wan,X F Huang,Zitong Zhang,刘晨华 Liu Chenhua,Chengxin Wang,Yuanjing Dai,Yuhong Liu,Zhimin Chai,Xinchun Lu
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:168: 114013-114013
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2026.114013
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