Anti-vibration coherence scanning interferometry for on-machine surface metrology

干涉测量 计量学 光学 连贯性（哲学赌博策略） 振动 轮廓仪 表面粗糙度 计算机科学 光学相干层析成像 反向 相（物质） 反问题 表面计量学 白光干涉法 表面光洁度 滤波器（信号处理） 声学 观测误差 钻石 准确度和精密度 正交（天文学） 抛光 材料科学 物理 逆滤波器 剪切照相 曲面（拓扑） 相位噪声 测量不确定度 解调 相位调制 迭代法 无损检测