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Influence of Gate Material, Geometry, and Temperature on ISFET Performance in pH Sensing Applications

ISFET 材料科学 阈值电压 电容 分析化学（期刊） 场效应晶体管 灵敏度（控制系统） 晶体管 光电子学 纳米技术 电极 电压 电子工程 电气工程 化学 色谱法 物理化学 工程类
作者
Rishikesh Datar,Gautam Bacher
出处
期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2023-04-11 卷期号：15 (12): 5393-5405 被引量：3
标识
DOI：10.1007/s12633-023-02437-z
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