锡
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作者
Hyeonbin Park,Heenang Choi,Sunyoung Shin,Bo Keun Park,Kibum Kang,Ji Yeon Ryu,Taeyong Eom,Taek‐Mo Chung
出处
期刊：Dalton Transactions
[The Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01
卷期号：52 (41): 15033-15042
摘要
Novel tin precursor with iminopyrrolidine moieties was synthesized and investigated for Sn 3 N 4 thin films via the ALD process.
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