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作者
Hyeonbin Park,
Heenang Choi,
Sunyoung Shin,
Bo Keun Park,
Kibum Kang,
Ji Yeon Ryu,
Taeyong Eom,
Taek‐Mo Chung
出处
期刊：
Dalton Transactions
[Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01
卷期号：52 (41): 15033-15042
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d3dt02138f
摘要
Novel tin precursor with iminopyrrolidine moieties was synthesized and investigated for Sn 3 N 4 thin films via the ALD process.
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