Numerical simulation of thermal silicon dioxide growth in the gap between stacked wafers

薄脆饼 钝化 堆栈(抽象数据类型) 材料科学 太阳能电池 共发射极 光电子学 热的 氧化物 热氧化 图层(电子) 复合材料 计算机科学 冶金 热力学 程序设计语言 物理
作者
Marius Meßmer,Lena Emmer,Andreas Wolf
出处
期刊:Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier BV]
卷期号:253: 112215-112215
标识
DOI:10.1016/j.solmat.2023.112215
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