Tunable MEMS-based meta-absorbers for nondispersive infrared gas sensing applications

材料科学 窄带 光电子学 微电子机械系统 光学滤波器 吸收(声学) 小型化 探测器 光学 纳米技术 物理 复合材料
作者
Kunye Li,Yuhao Liang,Yuxin Liu,Yu‐Sheng Lin
出处
期刊:Microsystems & Nanoengineering [Springer Nature]
卷期号:11 (1): 2-2 被引量:9
标识
DOI:10.1038/s41378-024-00851-w
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