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Tunable MEMS-based meta-absorbers for nondispersive infrared gas sensing applications

材料科学窄带光电子学微电子机械系统光学滤波器吸收（声学）小型化探测器光学纳米技术物理复合材料

作者

Kunye Li,Yuhao Liang,Yuxin Liu,Yu‐Sheng Lin

出处

期刊：Microsystems & Nanoengineering [Springer Nature]
日期：2025-01-08 卷期号：11 (1): 2-2 被引量：9

链接

nature.com nature.com nih.gov doaj.org nih.govdoi.org

标识

DOI：10.1038/s41378-024-00851-w

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