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HgCdTe surface passivation with low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposited HfO2

钝化 原子层沉积 等离子体 图层（电子） 材料科学 光电子学 分析化学（期刊） 化学 纳米技术 物理 环境化学 量子力学
作者
Evgeniy R. Zakirov,G. Yu. Sidorov,Irina А. Krasnova,V. A. Golyashov,V. I. Vdovin,I. V. Marchishin,О. Е. Терещенко
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-11-01 卷期号：: 161973-161973
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.161973
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