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Advancements in tantalum nitride-based films: A review
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作者
X. Li,
Jingjing Wang,
Wei Li,
Ping Liu,
Shuyi Wang,
Junhao Li,
Baosen Mi,
Guangan Zhang
出处
期刊：
Journal of Alloys and Compounds
[Elsevier BV]
日期：2025-02-01
卷期号：: 179427-179427
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2025.179427
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