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Magnetron sputtering growth and growth mechanism of GeSn films with Sn content exceeding 25% on InP substrates

溅射沉积材料科学溅射光电子学腔磁控管机制（生物学）薄膜纳米技术物理量子力学

作者

Yiliang Diao,Junfeng Yang,Zhanren Wang,Wenhao Meng,Guanzhou Liu,Zhiwei Huang,Jinrong Zhou,Shaoying Ke

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-03-01 卷期号：: 163122-163122

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2025.163122

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