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Monolithic and heterogeneous three-dimensional integration of two-dimensional materials with high-density vias
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作者
Subir Ghosh,
Yikai Zheng,
Zhiyu Zhang,
Yongwen Sun,
Thomas F. Schranghamer,
Najam U Sakib,
Aaryan Oberoi,
Chen Chen,
Joan M. Redwing,
Yang Yang,
Saptarshi Das
出处
期刊：
Nature electronics
[Nature Portfolio]
日期：2024-10-09
卷期号：7 (10): 892-903
被引量：61
标识
DOI：10.1038/s41928-024-01251-8
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