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High-efficiency submerged air jet chemical mechanical polishing at the atomic and close-to-atomic scale

材料科学脆性计算喷射（流体）抛光化学机械平面化复合材料原子单位冶金过程（计算）化学过程刮擦曲面（拓扑）灵活性（工程）产量（工程）化学种类表征（材料科学）机制（生物学）原子力显微镜工程制图表面粗糙度机械工程纳米技术表面光洁度表面处理

作者

Zili Zhang,Song Yuan,Rui Chen,Wei Wu,Ze Li,Kangsen Li,Chunjin Wang

出处

期刊：Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
日期：2026-01-02 卷期号：348: 119195-119195 被引量：2

链接

handle.netdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.jmatprotec.2025.119195

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