抛光
碳化钨
材料科学
表面粗糙度
化学机械平面化
机械加工
冶金
电解质
表面光洁度
碳化物
碳化硅
钨
电化学加工
电化学
复合材料
表面处理
硬质合金
过程(计算)
模具(集成电路)
作者
Weibin Tang,Xiangbo He,Huiming Feng,Huiyu Xie,An Xiang Wei,Dongping ZHAN,Yunfeng Peng,Lianhuan Han
标识
DOI:10.1007/s00170-026-17521-y
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