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Nanomechanical properties of the ZEP-520 electron beam resist film

抵抗材料科学纳米压痕复合材料电子束光刻弹性模量模数杨氏模量图层（电子）

作者

Jing Pan,Fengchao Lang,Xueping Zhao,Xiaohu Hou,J.J. Li

出处

期刊：Materials today communications [Elsevier BV]
日期：2021-05-13 卷期号：27: 102442-102442 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.mtcomm.2021.102442

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