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A facile and combined methodology to fabricate sputtered thin film micro-patterns for heater/sensor applications utilizing CO2laser-cut masks
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作者
Mohammed Adnan Hasan,
K. Prajwal,
Dwarika Nath Sahu,
A. S. Laxmi Prasad,
Arjun Dey,
A. Rajendra
出处
期刊：
Surface Engineering
[Maney Publishing]
日期：2021-06-23
卷期号：37 (9): 1133-1142
被引量：3
标识
DOI：10.1080/02670844.2021.1942610
摘要
(2021). A facile and combined methodology to fabricate sputtered thin film micro-patterns for heater/sensor applications utilizing CO2 laser-cut masks. Surface Engineering: Vol. 37, No. 9, pp. 1133-1142.
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