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A facile and combined methodology to fabricate sputtered thin film micro-patterns for heater/sensor applications utilizing CO2laser-cut masks

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作者
Mohammed Adnan Hasan,K. Prajwal,Dwarika Nath Sahu,A. S. Laxmi Prasad,Arjun Dey,A. Rajendra
出处
期刊：Surface Engineering [Maney Publishing]
日期：2021-06-23 卷期号：37 (9): 1133-1142 被引量：3
标识
DOI：10.1080/02670844.2021.1942610
摘要
(2021). A facile and combined methodology to fabricate sputtered thin film micro-patterns for heater/sensor applications utilizing CO2 laser-cut masks. Surface Engineering: Vol. 37, No. 9, pp. 1133-1142.
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