Understanding N-site substituents effect on corrosion inhibition performance of benzotriazoles derivatives in copper chemical mechanical planarization: Theoretical and experimental analysis

化学机械平面化 腐蚀 化学 缓蚀剂 材料科学 无机化学 化学工程 冶金 抛光 工程类
作者
Chun Cao,Xinyu Li,Yuhan Chen,Jianting Liu
出处
期刊:Materials Today Chemistry [Elsevier]
卷期号:47: 102850-102850
标识
DOI:10.1016/j.mtchem.2025.102850
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