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Effects of a 50 nm AlN intermediate layer on the properties of Al Sc N films with varying Sc concentrations
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作者
Hai‐Liang Zhu,
Jin Wu,
Zhenhuai Yang,
Kesheng Guo,
Jing Liu,
Chuandong Zhang,
Jie Bai,
Hong Liu,
Qiang Hu,
Qiang Wang
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2025-04-04
卷期号：194: 109529-109529
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.109529
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