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Effect of reactive sputtered SiOx passivation layer on the stability of InGaZnO thin film transistors
作者
Jun Li,
Fan Zhou,
Hua-Ping Lin,
Wenqing Zhu,
Jianhua Zhang,
Xue-Yin Jiang,
Zhilin Zhang
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2012-04-16
卷期号：86 (12): 1840-1843
被引量：50
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2012.04.009
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