Poly(t-butyl-3α-(5-norbornene-2-carbonyloxy)-7α,12α-dihydroxy-5β-cholan-24-oate-co-maleic anhydride) for a 193-nm photoresist

马来酸酐 光刻胶 高分子化学 降冰片烯 材料科学 双环戊二烯 复合材料 聚合 聚合物 共聚物 图层(电子)
作者
Jin-Baek Kim,Bum-Wook Lee,Jae-Sung Kang,Dong-Chul Seo,Chi-Hyung Roh
出处
期刊:Polymer [Elsevier BV]
卷期号:40 (26): 7423-7426 被引量:12
标识
DOI:10.1016/s0032-3861(99)00388-2
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