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CHARACTERIZATION OF INTERFACE LAYERS OF A SOLID SOLUTION FORMED DURING THE GROWTH OF A CARBIDE LAYER ON SILICON FROM HYDROGEN CONTAINING COMPOUNDS

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作者
L. K. Orlov,V. I. Vdovin,Yu. N. Drozdov,M. L. Orlov,N. L. Ivina,É. A. Steinman
出处
期刊：Journal of Structural Chemistry [Pleiades Publishing]
日期：2021-04-01 卷期号：62 (4): 630-640 被引量：1
标识
DOI：10.1134/s0022476621040156
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