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Influence of gate profile on TFT manufacturing process

计算机科学 薄膜晶体管 过程（计算） 材料科学 纳米技术 操作系统 图层（电子）
作者
Dan Liu,Yi Liu,Zhonghao Huang,Kun-kun GAO,Xu WU,Mao-kun TIAN,Kai Wang,Chao Zhang,Rui Wang,Taiye Min,Jia-hai FENG,Liang Fang
出处
期刊：Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays 日期：2020-01-01 卷期号：35 (10): 1026-1035 被引量：3
标识
DOI：10.37188/yjyxs20203510.1026
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