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Low Leakage Current β-Ga2O3 Self-Aligned Trench Junction Barrier Schottky Diodes

沟槽 光电子学 二极管 材料科学 肖特基二极管 金属半导体结 泄漏（经济） 肖特基势垒 纳米技术 图层（电子） 经济 宏观经济学
作者
Shengliang Cheng,Yuru Lai,Xing Lü,Tiecheng Luo,Haowen Luo,Huichao Hu,Rui Zhou,Huaxing Jiang,Zhisheng Wu,Jun Liang,Zimin Chen,Gang Wang,Yanli Pei
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-01 卷期号：: 1-5
标识
DOI：10.1109/ted.2025.3571880
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