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Design and fabrication of amorphous silicon-based metalens arrays for enhanced CMOS image sensors

材料科学 制作 硅 非晶硅 CMOS芯片 图像传感器 纳米技术 无定形固体 光电子学 晶体硅 光学 有机化学 化学 病理 替代医学 物理 医学
作者
Mengqi Yao,Yuexu Zhu,Xiaoshao Ma,Ruiyu Yang,Guosheng Wang,Guoling Luo,Shijie Deng,Hao Xin,Qian Dai,Zungui Ke
出处
期刊：Materials Research Innovations [Taylor & Francis]
日期：2025-06-19 卷期号：: 1-7
标识
DOI：10.1080/14328917.2025.2521616
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