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作者
Yung‐Sen Lin,Min‐Chih Liao,Pei-Che Wu,Hsiang Chen,Chia‐Feng Lin
出处
期刊:Vacuum
[Elsevier]
日期:2023-01-20
卷期号:210: 111857-111857
被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2023.111857
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