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Etch Selectivity Mechanisms of Implanted Over Pristine SiN Materials in NH3/NF3 Remote Plasma for Quasi Atomic Layer Etching with the Smart Etch Concept

作者
Vincent Renaud,E. Pargon,Camille Petit-Étienne,Jean‐Paul Barnes,N. Rochat,L. Vallier,G. Cunge,O. Joubert
出处
期刊：Le Centre pour la Communication Scientifique Directe - HAL - Diderot [Centre National de la Recherche Scientifique]
日期：2018-10-21
链接
univ-grenoble-alpes.fr
摘要
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