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Bond Wave Analysis of SiCN for Fine Pitch Hybrid Bonding

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作者

Ryosuke Sato,Atsushi Nagata,Hayato Kitagawa,Yoshihiro Kondo,Kenichi Saitô,Junghwan Park,Chiwoo Ahn,Yeoun-Soo Kim,Jiho Kang,Fumihiro Inoue

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DOI：10.1109/ectc51687.2025.00350

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