原子层沉积
材料科学
氟
薄膜
蚀刻(微加工)
沉积(地质)
吸附
薄脆饼
图层(电子)
硅烷
化学工程
氧气
化学气相沉积
硅
选择性
原位
纳米技术
化学机械平面化
氢
分析化学(期刊)
各向同性腐蚀
金属
透射电子显微镜
湿法清洗
远程等离子体
表面改性
作者
Min Su Kim,Hyun Gu Kim,So Myeong Shin,Byungchul Cho,Juhwan Park,Min Seong Kim
标识
DOI:10.1007/s40042-025-01488-2
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