Close atomic surface on aluminum alloy using green chemical mechanical polishing with synergistic effect between yttria and silica abrasives

抛光 化学机械平面化 材料科学 合金 氧化钇稳定氧化锆 冶金 原子力显微镜 纳米技术 立方氧化锆 陶瓷
作者
Zeyun Wang,Zhenyu Zhang,Hongxiu Zhou,Dong Han,Chunjing Shi,Leilei Chen,Jian Guo Yao,Shiqiang Yu,Jianan Xu
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:: 161586-161586 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.161586
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