化学机械平面化
多孔性
压缩性
泥浆
材料科学
复合材料
矿物学
化学
机械
抛光
物理
作者
Dipto G. Thakurta,Christopher L. Borst,Donald W. Schwendeman,R.J. Gutmann,William N. Gill
出处
期刊:Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2000-05-01
卷期号:366 (1-2): 181-190
被引量:89
标识
DOI:10.1016/s0040-6090(00)00748-3
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