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MD simulation study on defect evolution and doping efficiency of p-type doping of 3C-SiC by Al ion implantation with subsequent annealing

兴奋剂 材料科学 退火（玻璃） 离子 铝 离子注入 光电子学 冶金 化学 有机化学
作者
Jintong Wu,Zongwei Xu,Lei Liu,Alexander Hartmaier,Mathias Rommel,K. Nordlund,Tao Wang,Rebecca Janisch,J. Zhao
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [The Royal Society of Chemistry]
日期：2021-01-01 卷期号：9 (7): 2258-2275 被引量：30
链接
fraunhofer.de handle.net fraunhofer.dedoi.org
标识
DOI：10.1039/d0tc05374k
摘要
For the first time, the doping efficiency and defect evolution of p-type doping by aluminum in SiC are clarified and distinguished by an MD study.
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