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Growth and characterization of Ta-doped Ga2O3 films deposited by magnetron sputtering

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作者
Yi Shang,Ke Tang,Zhuorui Chen,Zhiluo Zhang,Jie Deng,Yan Hu,Keyun Gu,Meng Cao,Linjun Wang,Jian Huang
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2021-06-30 卷期号：134: 106040-106040 被引量：30
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2021.106040
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