Effect of Non-Ionic Surfactant on Chemical Mechanical Planarization Performance in Alkaline Copper Slurry

化学机械平面化 Zeta电位泥浆铜肺表面活性物质化学工程表面粗糙度表面张力化学吸附材料科学粘度无机化学抛光冶金复合材料纳米技术有机化学纳米颗粒物理工程类量子力学

作者

Qinzhi Xu,Fei Yang,Lan Chen,He Cao

出处

期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing [Springer Science+Business Media]
日期：2018-11-01 卷期号：19 (11): 1585-1595 被引量：16

标识

DOI：10.1007/s12541-018-0186-9

求助该文献

最长约 10秒，即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Eins完成签到，获得积分10

刚刚; 单薄绿竹完成签到，获得积分10

刚刚; 沙琪玛完成签到，获得积分10

2秒前; Pauline完成签到，获得积分10

2秒前; Meyako的应助被12采纳，获得10

2秒前; 执着的香薇完成签到，获得积分10

3秒前; 周萌完成签到，获得积分10

3秒前; carrieschen发布了新的文献求助10

3秒前; LZR完成签到，获得积分10

3秒前; 柿饼完成签到，获得积分10

4秒前; jam发布了新的文献求助10

5秒前; 凶狠的寄风完成签到，获得积分10

6秒前; ZHI完成签到，获得积分10

6秒前; Wy21完成签到，获得积分10

7秒前; 乔一完成签到，获得积分10

8秒前; 微笑冰棍完成签到，获得积分10

9秒前; shentaii完成签到，获得积分10

11秒前; 一枚小豆完成签到，获得积分10

12秒前; 小冬猫完成签到，获得积分10

14秒前; 传奇3上传了应助文件

15秒前; Ade完成签到，获得积分10

15秒前; 耶格尔完成签到，获得积分10

16秒前; 科研通AI2S的应助被固态锂电采纳，获得10

16秒前; 木木完成签到，获得积分10

18秒前; Ade发布了新的文献求助10

19秒前; 追寻夜香发布了新的文献求助30

19秒前; 12完成签到，获得积分10

19秒前; 852的应助被carrieschen采纳，获得10

21秒前; 科研通AI6的应助被淡逆月采纳，获得10

23秒前; 核桃的应助被jlwang采纳，获得10

24秒前; hins完成签到，获得积分10

24秒前; momo关注了科研通微信公众号

24秒前; 01259完成签到，获得积分10

25秒前; 狗妹那塞完成签到，获得积分10

26秒前; hu发布了新的文献求助10

26秒前; 悄悄完成签到，获得积分10

26秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

27秒前; dddd完成签到，获得积分10

31秒前; 刻苦的小土豆完成签到，获得积分10

31秒前; 冷酷飞飞完成签到，获得积分10

31秒前