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Inorganic-organic Hybrid Materials for Real 3-D Sub-νm Lithography

材料科学飞秒聚合平版印刷术聚合物钝化激光器无机聚合物混合材料纳米技术光子学缩聚物光电子学光学复合材料物理图层（电子）

作者

R. Houbertz,J. Schulz,L. Fröhlich,Gerhard Domann,Michael Popall,Jesper Serbin,Boris N. Chichkov

出处

期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2003-01-01 卷期号：780 被引量：1

标识

DOI：10.1557/proc-780-y4.12

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