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平版印刷术 谐振器 材料科学 临界尺寸 薄脆饼 光学 光子晶体 光刻 偏移量（计算机科学） 光刻胶 光电子学 堆栈（抽象数据类型） X射线光刻 覆盖 波长 图层（电子） 抵抗 计算机科学 纳米技术 物理 程序设计语言
作者
Zhen Song,Libin Zhang,Jianfang He,Lihong Liu,Le Ma,Yajuan Su,Yayi Wei
出处
期刊：Optik [Elsevier]
日期：2022-05-10 卷期号：261: 169199-169199 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.ijleo.2022.169199
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