Sensitive thermal flow sensor based on a micro-machined two dimensional resistor array

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作者
J.J. van Baar,R.W. Wiegerink,Gijs Krijnen,T.S.J. Lammerink,Michael Curt Elwenspoek
出处
期刊:Springer eBooks [Springer Nature]
卷期号:: 1408-1411 被引量:13
标识
DOI:10.1007/978-3-642-59497-7_332
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